4.当厂区内有几个洁净车间时,应尽可能集中布置,联系密切的宜用密闭走廊相连。
5.厂区道路应选用表面光洁、整体好、坚固、少起灰的材料作为面层。厂房周围除道路与人工铺砌的场地外,应多铺植草皮进行绿化。树木应选择防尘、滤清空气效果好、具有不脱落绒毛者为佳。
此外,有些洁净室的设备及产品对振动很为敏感。如半导体集成电路的精缩机、光刻台等均需考虑防拨要求。对这类防振要求高的车间,在布置时还应远离振源和交通频繁的干道。
6.对防尘、防振要求很高的工厂、应禁止汽车驶入厂区。厂内运输改用电瓶车,在精密车间胸围距离3米处可装置喷雾管,定期喷雾,以降低大气中尘埃的含量。